[19a-D1-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[19a-D1-4] レーザーリフトオフ法によるエピタキシャルPZT薄膜の転写および圧電振動発電素子の作製

^○諏訪英作，辻浦裕一，黒川文弥，神野伊策 (神大院工)

キーワード：エナジーハーベスタ,レーザーリフトオフ,エピタキシャル