[19a-D6-1~9] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

[19a-D6-4] 微小開口部アレイからの選択エッチングにより作製したGaAs/Air多層膜共振器構造

^○小松秀士¹，中川義典^1,2，森田健¹，北田貴弘¹，井須俊郎¹ (徳島大院フロンティア¹，日亜化学²)

キーワード：微小共振器構造