[19a-P2-1~29] 5 光エレクトロニクス（ポスター）

[19a-P2-6] CF₄ ドライエッチングによる五酸化タンタル(Ta₂O₅)光導波路の作製

^○李根，趙越，丸山武男，飯山宏一 (金沢大院)

キーワード：光導波路,五酸化タンタル