09:30 〜 11:30
△ [19a-P5-4] 埋め込み構造を有するガラス上の自己整合メタルダブルゲート低温 poly-Si TFT(2)
キーワード：poly-Si,TFT,double-gate
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.5 Siプロセス技術
[19a-P5-1~14] 13.5 Siプロセス技術
2013年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 P5 (デイヴィス記念館 )
一般セッション(ポスター講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.5 Siプロセス技術
2013年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 P5 (デイヴィス記念館 )
09:30 〜 11:30
キーワード：poly-Si,TFT,double-gate