2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19a-P7-1~14] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2013年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 P7 (デイヴィス記念館 )

09:30 〜 11:30

[19a-P7-12] AlGaN/GaN系 pチャネルHFETの製作

○米澤宏昭1，中島昭3，西澤伸一3，大橋弘通3，筒井一生1，角嶋邦之1，若林整1，岩井洋2 (東工大総理工1，東工大ﾌﾛﾝﾃｨｱ研2，産業技術総合研究所3)

キーワード：p-channel,GaN,HFET