2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.4 ナノインプリント

[19p-A13-1~7] 7.4 ナノインプリント

2013年9月19日(木) 13:30 〜 15:30 A13 (TC1 3F-323)

13:45 〜 14:00

[19p-A13-2] ポリジメチルシロキサンを添加したハイドロゲンシルセスキオキサンを用いたレプリカモールド作製

○(B)菅野矩弘,岡田真,春山雄一,松井真二 (兵庫県立大)

キーワード:レプリカモールド