[19p-A13-1~7] 7.4 ナノインプリント

[19p-A13-3] 極薄膜レジストにおけるフッ素系添加剤の偏析状態評価

^○（M1）大山貴弘^1,3，岡田真^1,3，伊吉就三^1,3，春山雄一^1,3，三宅弘人²，水田智也²，松井真二^1,3 (兵庫県立大¹，ダイセル²，JST-CREST³)

キーワード：偏析,フッ素