[19p-A13-1~7] 7.4 ナノインプリント

[19p-A13-7] Ｘ線Talbot干渉計のための金属ガラス回折格子の作製

^○矢代航¹，野田大二²，服部正²，林好一³，百生敦¹，加藤秀実³ (東北大多元研¹，名古屋大院工²，東北大金研³)

キーワード：インプリント,Ｘ線イメージング,金属ガラス