[19p-C1-1~17] 8.1 プラズマ生成･制御

△ [19p-C1-1] 多目的マイクロ波アンテナの大面積化と高密度プラズマ生成

^○近藤将吾¹，中野優¹，高田昇治¹，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大プラズマナノ²)

キーワード：マイクロ波プラズマ