[19p-C1-1~17] 8.1 プラズマ生成･制御

[19p-C1-2] ＥＣＲ加熱プラズマによる多価イオンの生成における二重周波数の依存性（４）

^○北川敦志¹，村松正幸¹，Arne.G. Drentje¹，矢野慧介²，加藤裕史²，Sandor Biri³，佐々木規之⁴，高杉亘⁴ (放医研¹，阪大工²，ATOMKI³，加速器エンジニアリング⁴)

キーワード：イオン源