2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.6 Siデバイス/集積化技術

[19p-C8-1~18] 13.6 Siデバイス/集積化技術

2013年9月19日(木) 13:15 〜 18:30 C8 (TC3 2F-201)

18:15 〜 18:30

[19p-C8-18] コア-シェルゲート構造によるショットキー障壁トンネルFETの特性改善

橋本修一郎1,鹿浜康寛1,渡邉孝信1,2 (早大理工1,早大ナノ機構2)

キーワード:トンネルFET,ショットキー障壁,コアシェルゲート