17:30 〜 17:45
[19p-D7-17] 金属-誘電体遮蔽半導体ピラー構造の微小光共振器作製とその評価
キーワード：微小光共振器,金属埋め込み
講演情報
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.3 電子デバイス・プロセス技術
[19p-D7-1~17] 14.3 電子デバイス・プロセス技術
2013年9月19日(木) 13:00 〜 17:45 D7 (MK 3F-302)
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.3 電子デバイス・プロセス技術
2013年9月19日(木) 13:00 〜 17:45 D7 (MK 3F-302)
17:30 〜 17:45
キーワード：微小光共振器,金属埋め込み