[20a-A8-1~12] 5.3 光制御

△ [20a-A8-4] 300 mm SOI基板上に作製したリング共振器の特性均一性

^○相馬宗厳¹，平野秀¹，田主裕一朗¹，北智洋¹，外山宗博²，佐野作²，堀川剛²，山田博仁¹ (東北大院工¹，産総研²)

キーワード：シリコンフォトニクス