[20p-D6-1~8] 14.1 探索的材料物性

△ [20p-D6-1] スパッタ法により合成した高結晶性Mg₂Si膜の電気特性

^○小川正太¹，片桐淳生¹，松島正明¹，秋山賢輔^1,2，木村好里¹，内田寛³，舟窪浩¹ (東工大¹，神奈川産技センター²，上智大³)

キーワード：熱電材料,薄膜,スパッタリング法