2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性

[20p-D6-1~8] 14.1 探索的材料物性

2013年9月20日(金) 13:00 〜 15:00 D6 (MK 3F-301)

13:15 〜 13:30

△ [20p-D6-2] 反応性スパッタリングガスの微量添加によるアモルファスMg2Si系半導体の作製

○（M1）原昌太，藤原裕之 (岐阜大)

キーワード：Mg2Si,スパッタ,太陽電池