■RHEED ■RHEED解析システム ■in-situウェハ温度測定システム ■UHVエバポレータ ■卓上カーボンナノチューブ合成装置 ■真空計 ■真空部品　等

■IOP英国物理学会の発行するマガジン、ジャーナル、ポータルウェブサイトの紹介。 ■Journal of Physics D: Applied Physics誌、Nanotechnology誌をはじめとするIOPジャーナルの見本誌および論文募集チラシの無料配布。

■世界最高分解能原子間力顕微鏡　Cypher AFM －多様な材料のナノメカニカル特性の定量評価－

■ キセノン光源

■X線回折格子: X線Talbot(-Lau)干渉計において，吸収像や微分位相コントラスト像を取得するために必要な，高アスペクト比の透過型回折格子。撮像結果を展示予定。

■ベンチトップ・ソース・メジャーユニット

■大気圧プラズマ分析装置、二次イオン質量分析計（SIMS,SNMS)、プラズマイオンエネネルギーアナライザー付質量分析計、ラングミュアプローブ、大気圧サンプリング、ガス分析計、四重極質量分析計、SIMS型エンドポイントディテクター、チャンネルトロン、ディレイラインディテクター、UPS（無停電電源） ■コスト重視と機能重視の二種類の自動整合器、可変周波数高周波電源100-460KHz又は1.7...

■マイクロトール POUガスフィルター ■ファシリトール 溶接シール/パージガス精製器 ■モノトール ゲッター式ガス精製装置

■超小型X線イメージング ■Prober Shuttleシステム ■コンパクト近赤外線カメラ

■Fogle社製 3DIC / TSV用測定装置 ■PSM社製 大気圧プラズマ装置 ■Unijet

■マニュアルプローバー ■プローブカード

■ダイヤモンドCVD装置 ■RFラジカルビーム源 ■ラングミュアプローブ ■スパッタ源 ■RHEED　等

■SiCイオン注入後の電気特性評価をディスプレイにて展示させて頂きます。 ■イオン注入、物理分析、成膜をトータルで受託サービスさせて頂きます。

■フェムト秒ファイバレーザ ■波長可変半導体レーザ ■テラヘルツ対応ディテクタ ■中赤外波長可変レーザ

■国際宇宙ステーション模型 ■多目的実験ラック模型　等

■太陽光発電用薄膜形成装置ならびに各種蒸着装置関連のパネルおよび実機展示

1) Arradiance社製原子層堆積（ALD）装置　2) サイバーレーザー社製超短パルスレーザー IFRIT-TD20　3) PVA Tepla 社製ウエハ表面改質用プラズマペン　4) PVA Tepla 社製ウエハ接合面や断面構造解析用超音波

■電磁界・荷電粒子・プラズマ解析ソフトウェアMW STUDIO、PARTICLE STUDIO、VSim(VORPAL)、PrismSPECT ■小型電子加速器と高エネルギーX線源 ■電子銃・イオン源・ヒーター ■大気圧マイクロ波プラズマ源とマイクロ波電源 ■高電圧短パルス電源 ■誘電率測定装置