■有機EL作製装置（有機EL照明、TFT、太陽電池向け）用コンポーネント展示 ■各種蒸着／分析装置用コンポーネント展示 ■各種トランスファーロッド／導入機（直線・回転導入機） ■ＭＢＥ装置用フラックスモニター ■各種加工部品（特殊材料・セラミックス） ■真空機器・部品の保守、修理、改造、移設など受付中

■AIP、APS等の学術雑誌 ■AIPプラットフォーム ■APS Physics等のデモンストレーション ■パンフレット、Giveaway 配布

■次世代向け微細受託加工 ■MEMS研究用ツール ■独自ナノインプリント加工

■世界最高レベルの130kVという加速電圧を持つ新モデルCABL-UHシリーズを紹介します。また、抜群の簡易性、機能性を付加したポイントビーム型電子線描画装置CABL-9000Cを紹介、パネル展示します。加速電圧50kVでビームスポットサイズ2nm、最小線幅5.6mm、つなぎ精度10nm等の性能を実現します。

■プラズマエミッションモニタリング「CrevPEM」 ■画像形状分析システム「ShapeAnalyzer」 ■原子スペクトルデータ閲覧ツール「AtomSpectraDBViewer」

■クロスライトソフトウエアは半導体デバイスシミュレーションソフトウェアの開発・販売を行っています。シリコン・化合物から成るパワーデバイスや発光素子など様々な半導体デバイスのバンド図、電気、光学、温度など各特性を計算、プロットアウトします。ユーザー独自の材料モデルも設定可能です。本展示にて、半導体デバイスシミュレーションソフトウェアAPSYS、半導体レーザシミュレーションソフトウェアLASTI...

■電磁気、機械、音響、流体、半導体、プラズマ、MEMS、燃料電池、土木等の工学分野に限らず、広く科学として医療、健康、食品、バイオ、地球科学等を含む様々な分野のモデルを、全て1つのソフト・1つの統合GUI上で、モデル作成/インポートから可視化まで一貫してマルチフィジックス解析ができる汎用物理現象シミュレーションソフトウェア「COMSOL Multiphysics」のご紹介です。ブースではソフ...

■マグネトロンスパッタ源 ■特殊スパッタ源 ■スパッタ装置 ■複合型薄膜作製装置 ■排気装置

■光学技研は、1978年に設立された高精密光学部品と試作加工のリーディングカンパニーです。固体レーザ、光学システム及びその他用途の波長板、偏光子、各種光学結晶、高精度デバイスの開発と製造に特化しています。

■CVD材料 ■スパッタリングターゲット ■各種粉末 ■粒状材料 ■スピンコート材料 ■その他

■神津精機のブースでは、お客様の多様な位置決めニーズにお応えする精密位置決めステージをご紹介させていただきます。微細な手動位置決めが可能な精密ポジショナー（マイクロメータ）をはじめ、狭所でもご利用可能な薄型精密アライメントステージ、プログラミングによる動作設定が可能な小型6軸マニピュレータを展示しております。

■ロックインアンプ ■ディレイジェネレータ ■軟X線光学部品/ 窒化シリコン薄膜　等

■微少測定力（Min.10 μN）で軟質試料面測定にも対応した、接触式微細形状測定機です。各種膜厚、段差測定、二次元表面粗さ測定に適した高精度・高分解能・優れた安定性を有する測定機です。

■真空蒸着装置 ■スパッタリング装置 ■CVD装置 ■真空排気装置 ■真空装置･部品の改造、修理 ■真空装置･機器の移設作業 ■真空規格部品（JIS規格、ISO-KF/LF規格、ICF規格）

■B&W Tek社分光器、Instrument Systems社分光器

■超短パルスハンズフリー フェムト秒レーザ ■CEP安定化再生増幅器 ■高エネルギー・高効率 チタンサファイア再生増幅器

■新型スーパーRTA装置（SR1800D) ■集光照射式赤外線真空炉（IVF298W) ■均温熱処理装置（GFA430VN)　他

■光デバイス設計シミュレータ　RSoft