[27a-G21-1~8] 15.4 III-V族窒化物結晶

[27a-G21-3] 高品質(1-100)面自立AlGaN薄膜を有する高Q値(Q～4800)垂直微小共振器の作製と評価 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○有田宗貴¹，陶仁春²，加古敏²，荒川泰彦^1,2 (東大ナノ量子機構¹，東大生産研²)

キーワード：垂直微小共振器、自立薄膜