[27a-PB1-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[27a-PB1-9] プロトンビームによる強誘電体および白金薄膜パターンの形成 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

渡辺和貴，^○山口正樹，西川宏之，塩嵜忠 (芝浦工大工)

キーワード：プロトンビーム