[27a-PB2-1~24] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[27a-PB2-14] TiO₂ハイブリッド薄膜を用いたリソグラフィプロセス (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○植村公亮¹，中野瑞記¹，尾﨑亮¹，前田篤志¹，松田厚範² (府大高専¹，豊橋技科大²)

キーワード：光触媒