[27a-PB2-1~24] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[27a-PB2-24] 赤外線センサ検知部材料のためのTa・Wドープ酸化バナジウム膜の形成 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

石橋直幸，齋藤和弘，渡邊良祐，^○齋藤洋司 (成蹊大院理工)

キーワード：ボロメータ、赤外線センサ、酸化バナジウム