[27a-PB2-1~24] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[27a-PB2-3] △斜めスパッタ法により堆積された金属酸化物抵抗変化メモリのリセット動作特性 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○澤居優圭¹，木下健太郎^1,2，福原貴博¹，岸田悟^1,2 (鳥取大¹，TEDREC²)

キーワード：ReRAM、斜め堆積法、NiO