[27a-PB4-1~25] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[27a-PB4-13] 分子プレカーサー法を用いたGa-In-O薄膜の製作 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○安野泰平，小田拓人，永井裕己，原広樹，佐藤光史，本田徹 (工学院大)

キーワード：透明電極、TCO