[27a-PB4-1~25] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[27a-PB4-17] MeCp2Mgを用いたMgZnO薄膜のRPE-MOCVD成長 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○（B）大村信亮¹，Sanjay Mohanta²，中村篤志²，天明二郎^1,2 (静岡大工¹，静岡大電研²)

キーワード：RPE-MOCVD、MgZnO、MeCp2Mg