[27a-PB4-1~25] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[27a-PB4-3] IGZO結晶粉末中にプラズマによって生成される格子欠陥の評価 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○松田時宜^1,2，西本大樹¹，高橋宏太¹，植野大貴¹，木村睦^1,2 (龍大理工¹，龍大科技研センター²)

キーワード：格子欠陥、電子スピン共鳴、酸化物半導体