[27a-PB4-1~25] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[27a-PB4-5] ZnO-SnO₂薄膜を用いたTFTの低温形成 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○佐藤和郎，山田義春，村上修一，筧芳治，櫻井芳昭 (大阪府立産技研)

キーワード：トランジスタ、薄膜、ZTO