[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

[27p-A3-1] マスクLine-Edge-RoughnessのWigglingへの影響 (1:30 PM ～ 1:45 PM)

^○小藤直行¹，根岸伸幸¹，石村裕昭²，西田敏明²，古林均² (日立中研¹，日立ハイテク²)

キーワード：LER、Wiggling