[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

[27p-A3-11] △磁性体エッチングプロセスにおけるN⁺イオン照射効果 (4:15 PM ～ 4:30 PM)

^○村木裕，李虎，唐橋一浩，浜口智志 (阪大院工)

キーワード：エッチング、磁性体、MRAM