[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

[27p-A3-16] プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴（ESR）解析（4） (5:30 PM ～ 5:45 PM)

石川健治¹，堀邉英夫²，竹田圭吾¹，近藤博基¹，関根誠¹，堀勝¹，^○王浩然¹ (名大院工¹，金沢工大²)

キーワード：プラズマ、ESR