[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

[27p-A3-4] オンウェハモニタリングによるプラズマプロセスダメージ・形状予測 (2:15 PM ～ 2:30 PM)

^○久保田智広¹，佐藤充男²，岩崎拓也³，小野耕平³，寒川誠二^1,4 (東北大流体研¹，原田産業²，みずほ情報総研³，東北大WPI-AIMR⁴)

キーワード：オンウェハモニタリング、プラズマ照射ダメージ、コンピュータシミュレーション