[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

[27p-A3-6] シャドーイング効果を利用した低エネルギーイオン誘起損傷のその場STM観察 (2:45 PM ～ 3:00 PM)

^○（B）武良光太郎¹，神岡武文^1,2，礒野文哉^1,2，川村祐士^1,2，鹿浜康寛^1,2，山下広樹^1,2，山田康平¹，小杉山洋希¹，橋本修一郎¹，渡邉孝信^1,2 (早大理工¹，JST-CREST²)

キーワード：シャドーイング効果、イオン注入、scanning tunneling microscope