[27p-A7-1~17] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

[27p-A7-1] 誘電体バリア放電プラズマCVDによるDLC膜の生成 (1:30 PM ～ 1:45 PM)

^○多田和也，浜田浩史，大上耕治，安井晋示 (名工大)

キーワード：DLC