[27p-A7-1~17] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

[27p-A7-14] スパッタ製膜におけるプラズマ電位制御（2） (5:00 PM ～ 5:15 PM)

馬橋琢哉，^○中野武雄，馬場茂 (成蹊大理工)

キーワード：スパッタリング、プラズマ電位、薄膜構造制御