[27p-A7-1~17] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

[27p-A7-3] マイクロ波パルスプラズマによる内面DLC成膜においてプラズマON・OFF時間が成膜の均一性に及ぼす影響 (2:00 PM ～ 2:15 PM)

松井良輔，^○上坂裕之，梅原徳次 (名大院工機械)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、マイクロ波、内面成膜