[27p-A7-1~17] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

[27p-A7-8] △水素ラジカル注入型プラズマCVDによる微結晶シリコン膜の特性解析 (3:30 PM ～ 3:45 PM)

^○阿部祐介，三輪佳大，福島敦史，陸雅，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝 (名大院工)

キーワード：微結晶シリコン、プラズマ化学気相堆積法、薄膜シリコン太陽電池