[27p-B6-1~10] 1.3 新技術

[27p-B6-6] 有機金属塗布熱分解法による微粒子を用いたMgO薄膜の作製 (3:00 PM ～ 3:15 PM)

^○櫻川康志¹，大橋義信¹，吉岡秀樹²，清川敏夫³，山本伸一¹ (龍谷大¹，兵庫県立工業技術センター²，タテホ化学工業³)

キーワード：有機金属塗布熱分解法、酸化マグネシウム