[27p-B6-1~10] 1.3 新技術

[27p-B6-7] Si₃N₄メンブレン上への200GHz帯薄膜スパイラルアンテナの製作 (3:15 PM ～ 3:30 PM)

^○松下亮仁，ソン レー，立木隆，内田貴司 (防衛大理工)

キーワード：テラヘルツ