[27p-G21-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[27p-G21-14] 高抵抗ＦｅドープＧａＮ系層における歪によるＦｅの表面偏析抑制 (4:45 PM ～ 5:00 PM)

^○石黒哲郎，山田敦史，苫米地秀一，小谷淳二，中村哲一，吉川俊英，渡部慶二，今西健治 (富士通研究所)

キーワード：GaN、鉄、歪