[28a-A10-8~9] 8. プラズマエレクトロニクス分科内招待講演

[28a-A10-8] 「8.プラズマエレクトロニクス分科内招待講演」（30分）
大面積プラズマ生成 (11:00 AM ～ 11:30 AM)

^○河合良信 (九大総理工)

キーワード：大面積プラズマ源、ECR プラズマ源、VHFプラズマ源