[28a-A3-1~9] 16.1 基礎物性・評価

[28a-A3-3] ▲エアロゾルデポジションを用いたセレン薄膜の作製と評価 (10:30 AM ～ 10:45 AM)

^○（PC）斎藤市太郎¹，高橋功¹，大西正徳¹，増澤智昭¹，山田貴壽²，岡野健¹ (国際基督教大¹，産業技術総合研究所²)

キーワード：aerosol deposition