[28a-A3-7] 水素化非晶質シリコン薄膜の膜中水素挙動 (11:45 AM ～ 12:00 AM)
キーワード：非晶質シリコン、膜中水素
講演情報
一般セッション(口頭講演)
16．非晶質・微結晶 » 16.1 基礎物性・評価
[28a-A3-1~9] 16.1 基礎物性・評価
2013年3月28日(木) 10:00 〜 12:30 A3 (K1号館 2F-201)
一般セッション(口頭講演)
16．非晶質・微結晶 » 16.1 基礎物性・評価
2013年3月28日(木) 10:00 〜 12:30 A3 (K1号館 2F-201)
キーワード：非晶質シリコン、膜中水素