[28a-A5-1~6] 8.4 プラズマエッチング

[28a-A5-5] マイクロ波水素プラズマによるSi高速エッチングにおけるSi基板－電極間の原子状水素密度の分布 (10:15 AM ～ 10:30 AM)

^○山田高寛^1,2，山田浩輔¹，大参宏昌^1,2，垣内弘章^1,2，安武潔^1,2 (阪大¹，JST CREST²)

キーワード：太陽電池、エッチング、シラン