[28a-B8-1~11] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[28a-B8-10] シリコンナノワイヤ中のP原子の熱酸化過程での偏析挙動 (12:00 PM ～ 12:15 AM)

^○神永惇^1,2，滝口亮²，鈴木慶太郎^1,2，菱田俊一¹，関口隆史¹，村上浩一²，深田直樹^1,2 (物質・材料研究機構¹，筑波大院工²)

キーワード：ナノワイヤ、電子共鳴スピン