[28a-G11-1~9] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[28a-G11-1] ガス添加機能水を用いたGaN表面洗浄の検討 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○辻幸洋^1,2，中村健一^1,2，眞壁勇夫¹，中田健¹，勝山造¹，寺本章伸²，白井泰雪²，須川成利²，大見忠弘² (住友電工¹，東北大²)

キーワード：窒化ガリウム