[28a-G12-1~11] 17.1 成長技術

[28a-G12-11] スパッタ堆積Ni極薄膜の電気伝導性その場評価 (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○楠本雄司¹，松本康平¹，関家一樹¹，小路紘史¹，古田寛^1,2，八田章光^1,2 (高知工科大¹，高知工科大ナノテク研²)

キーワード：触媒微粒子、電気伝導性　その場評価、マグネトロンスパッタリング