[28a-G19-1~11] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[28a-G19-1] 分子線エピタキシャル成長β型三酸化モリブデン薄膜の熱処理効果 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○（M1）和田涼太，八木信治，小池一歩，原田義之，佐々誠彦，矢野満明 (大阪工大ナノ材研センタ)

キーワード：三酸化モリブデン、MBE