[28a-G22-1~13] 15.6 IV族系化合物

[28a-G22-13] 4H-SiC熱酸化膜におけるFTIR-ATRピーク位置の膜厚依存変化とその因子 (12:15 PM ～ 12:30 AM)

^○平井悠久¹，喜多浩之^1,2 (東大院工¹，JST　さきがけ²)

キーワード：SiC、ATR、熱酸化膜