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一般セッション(ポスター講演)

07．ビーム応用 » 7. ビーム応用(ポスター講演)

[28a-PA2-1~14] 7. ビーム応用

2013年3月28日(木) 09:30 〜 11:30 PA2 (第一体育館)

[28a-PA2-7] IBE加工状態の真空一貫KFM観察 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○才田大輔¹，大沢裕一¹，伊藤順一¹，高橋琢二² (東芝研究開発センター¹，東大生研²)

キーワード：IBE、KFM