[28p-A3-1~17] 16.1 基礎物性・評価

[28p-A3-8] イオン注入法により作製した非晶質TiO2薄膜の再結晶化過程 (4:00 PM ～ 4:15 PM)

武田京子¹，河野宏和¹，^○内藤宗幸¹，町田信也¹，重松利彦¹，石丸学² (甲南大理工¹，阪大産研²)

キーワード：TiO2、電子回折