[28p-A6-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[28p-A6-4] マイクロ波プラズマCVDによる窒化炭素合成における基板依存性Ⅱ (2:15 PM ～ 2:30 PM)

^○髙橋侑佑¹，羽渕仁恵²，渡辺康司²，滝川浩史³ (岐阜高専¹，豊田高専²，豊橋技科大³)

キーワード：窒化炭素